技術文章
Technical articles勻膠機的選擇與使用
此款勻膠機共有兩種型號:AC200-SE是標準型號,AC200-PE是型號;AC200精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,這是一種程控伺服型精密勻膠機,可以實現價值百萬美元設備上才能達到的穩定性和均勻性。這款設備采用了不銹鋼外殼,更加耐久和美觀;采用了工業級別的200W的伺服電機系統和與track設備相同的設計和程序,使工藝更具有實際應用意義;AC200在同類產品中**的較先達到5000RPM/s的旋轉加速度,確保旋轉勻膠的穩定性和可重復性。
主要性能指標
1:主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)
2:內腔采用易清潔、耐腐蝕的高分子材料(HDPE)
3:旋涂程序:多可存100組程序,每組100步,每個步驟可精確到0.1秒
4:旋涂速度:0-10000rpm
5:旋涂加速度:0-50000rpm/s
6:馬達旋涂轉速穩定性能誤差:<±1rpm(TN-AC200-SE);<±0.1rpm(TN-AC200-PE)
7:轉速調節精度及重復性:1rpm(TN-AC200-SE);0.1rpm(TN-AC200-PE)
8:AC200-PE另帶真空數字顯示、開關壓力調節和電子水平顯示功能
9:工藝時間設定:0-3000sec/step,時間設置精度:0.1sec
10:支持wafer尺寸:碎片至200mm(8''圓晶)
11:旋涂作業均勻性:<±3%在6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米測量)
產品特性優點
1:**的內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸
2: 采用7英寸觸摸屏控制面板,操作更加便捷
3:采用“密閉碗"設計,可以適應各種材料的勻膠工藝。
4:標準配置的轉速為10000rpm,可以根據用戶需要進行定制
5:采用工業級的伺服電機,電機*的設計可以避免光刻膠等污染物進入電機內部
6:機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,不生銹,便于清洗。
7:排風和抽氣系統位于載片臺的底部,利于排風效率和勻膠的均一性
8:透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時隔絕光阻的溢出及有效有毒氣味的散發