技術(shù)文章
Technical articles勻膠機(jī)的選型
臺(tái)式勻膠機(jī):(Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。
詳細(xì)介紹: 勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater)
行業(yè)俗稱:勻膠臺(tái),甩膠機(jī),涂膠機(jī),鍍膜機(jī),涂層機(jī),旋涂機(jī),旋涂?jī)x等。
產(chǎn)品概述:
KW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.
特色功能:1.德國(guó)進(jìn)口高精度電機(jī)
Ⅰ檔 調(diào)速范圍:500-8500轉(zhuǎn)/分
1、調(diào)速范圍和勻膠時(shí)間:Ⅰ檔 勻膠時(shí)間:0-999秒
Ⅱ檔 調(diào)速范圍:500-8500轉(zhuǎn)/分
Ⅱ檔 勻膠時(shí)間:0-999秒
2、兼容基片:Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠
3、顯示方式:雙LED數(shù)字顯示實(shí)時(shí)速度與倒計(jì)時(shí)時(shí)間
4、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1轉(zhuǎn)/分鐘
5、膜的均勻性:±0.5%
6、電機(jī)功率:40W
7、供電方式:?jiǎn)蜗?10-240V供電
8、真空泵抽氣速率:≥60升/分
9、儀器尺寸:210×220×160mm
10、勻膠機(jī)重量:6.5KG
11、泵重量:9KG
12、特色功能:1.德國(guó)進(jìn)口高精度電機(jī)
2.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度可達(dá):±1轉(zhuǎn)/分鐘
3.核心部件國(guó)外進(jìn)口,國(guó)內(nèi)組裝
13、配套片托:5-120mm